안녕하세요. 반도체 관련 엔지니어로 근무하고 있는 직장인입니다.

 

현재 공정이 완료된 텅스텐 재료에 대기압 플라즈마를 가하여 정전기 제거를 하고있습니다.

 

Ar gas를 이용하였으며 정전기 측정장비로 제거 되는 것 까지는 확인 되었습니다.

 

추가로 여쭤보고 싶은 부분이 정전기 제거 후에도 반영구적으로 정전기가 발생하지 않는 것도 확인이 되는데요.

 

이 부분에 대해서는 관련 자료를 찾아보아도 나오는 부분이 거의 없어서요.

 

O, N 라디칼들이 계면에서 어떠한 에너지 반응을 일으키는 건지. 텅스텐 표면에 어떤 결합에너지에 영향을 주는 것인지 궁금하네요.

 

플라즈마를 통하여 정전기 방지가 유지되는 것이 어떠한 Process로 진행될 수 있는지 궁금합니다.

 

고견 여쭙겠습니다. 감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [46] 963
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 748
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49342
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58726
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72990
228 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 87
227 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 102
226 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 137
» 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 142
224 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 150
223 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 173
222 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 175
221 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 177
220 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 181
219 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 190
218 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 191
217 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 211
216 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 220
215 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 232
214 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 241
213 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 259
212 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 264
211 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 266
210 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 269
209 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 277

Boards


XE Login