================================<질문>=======================================
안녕하세요.. 플라즈마에 대해서 궁금한 점이 있어서 이렇게 글을 올립

니다..

dc glow 방전에서 방전상태가 계속 유지되기 위해서는 전자가 계속적

으로 에너지를 얻어서, ion을 생성해야 하는 것으로 생각이 됩니다..

음극과 양극판이 있다면 그 중간영역(plasma volume)에서는 전기장

이 거의 존재하지 않는 것으로 알고 있습니다..그렇다면 원자를 이온하

시키기위한 전자의 에너지는 어디에서 흡수를 할 수 있나요? 이온과 전

자의 재결합 과정에서 발생하는 빛을 이용하나요?

그리고 rf 방전상태에서는 전자가 어디서 에너지를 얻게 되는 지 궁금합

니다..

답변을 부탁드리겠습니다.. 그럼 수고하십시요..


================================<답변>=======================================
좋은 질문입니다. 본 란에 게재된 플라즈마 방전 혹은 발생 (장치)에 대한 내용을 참고하기
바랍니다.
플라즈마가 형성되어 유지되기 위해서는 전자의 역할이 매우 중요합니다.
전자는 이온에 비해서 쉽게 에너지를 얻어 이온화 과정으로 부터
전자-이온의 쌍을 만들게 됩니다. 재결합 과정 등으로 플라즈마가
손실되는 양과 균형을 이루면서 플라즈마는 형성되어 유지되게 됩니다.
질문은 이때 전자가 어디서 에너지를 얻는가 라는 질문입니다.
전자는 전기장이 있는 곳에서 에너지를 얻습니다. 당연히 bulk plasma 영역에서는
에너지를 쉽게 얻기 힘듧니다. DC 방전의 경우에는 cathode fall 영역
즉 음극판 앞에서 형성되는 쉬스영역에서 전자가 가속되게 됩니다.
특히 입사되는 이온에 의해서 발생된 이차전자등이 이 영역에서
효율적으로 가속을 받습니다. 중요한 것은 전기장의 방향이 음극판을 향함으로 전자는 bilk plasma 영역으로
나가게 되며 진행되는 전자가 이온화 반응등을 경험하게 됩니다.
이렇게 만들어진 플라즈마는 bulk 영역으로 확산되어 퍼지고 이렇게
확산되어 퍼진 영역을 positive column이라는 양광주영역으로 우리가
플라즈마라고 하는 곳입니다.
또한 RF 에서도 전극 주변의 쉬스에서 전자들이 에너지를 받기도 합니다. 이에 덧붙혀서 주기적으로 변하는 전기장의 방향에 따라서 전자들이
주기적으로 움직이게 됩니다. 쉬스로 향하는 전자들은 쉬스 전위가 낮음으로 되돌아 가게 되는데 이때 쉬스전위가 더 낮아지게 되면 되돌아
가는 전자에 에너지를 더 넣어 줄 수 있습니다. 마치 테니스 공을
되받아 치는 효과 혹은 박찬호의 빠른 공이 맞으면 홈런이 잘되는
이유와 같이 전자가 에너지를 얻게 됩니다. 이는 CCP 플라즈마에서
전자가 에너지를 얻는 방법이기도 합니다.
아울러 ICP등의 플라즈마에서는 공간내에 형성되는 전기장, 이는 안테나
등으로 부터 만들어지거나 외부에서 wave의 형태로 입사된 전기장을
받아 가속되는 경우인데 이는 플라즈마 내에서도 가속되는 경우에
해당합니다.  
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 99921
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24127
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60755
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72721
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 104142
101 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [플라즈마 형성 과정과 파센의 법칙] [1] 13715
100 플라즈마의 상태 14189
99 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [반도체 공동 연구소] [1] 14366
98 우주에서의 플라즈마의 성분비 [Orora와 density] 14647
97 우주 플라즈마 [Orora와 density] 14836
96 산업용 플라즈마의 특성 [Thermal Plasma와 Cold Plasma] 15272
95 우주 플라즈마 [Plasma의 온도와 밀도] 15458
94 핵융합반응/플라즈마 15656
93 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여…^ _ ^ ; [플라즈마 우주선 추진 엔진] 15727
92 Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. 15943
91 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15978
90 k star [기초과학지원 연구원] 16014
89 corona [Streamer와 Impurity] 16057
88 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 16088
87 역 수소폭탄에 대하여… [핵융합에 필요한 요소들] 16172
86 궁금합니다 [입자 속도에 따른 충돌 단면적과 mean free path] [1] 16343
85 플라즈마의 어원 [Langmuir] 16440
84 궁금해서요 16478
83 형광등으로 부터 플라즈마의 의해 [Filament, Sputtering] 17100
82 Light flower bulb 17153

Boards


XE Login