Collision 충돌단면적에 관하여

2004.06.19 15:56

관리자 조회 수:26717 추천:400

대개의 ICP-Type의 공정은 매우 낮은 압력에서
이루어지는 것으로 알고 있습니다. 이런 경우
전자의 mean free path를 기준으로 플라즈마관련
문제를 푸는 것으로 알고 있습니다. 여기서 질문인데요...
압력이 10mTorr 정도인 경우 mean free path가 충분히 길어
지는 것으로 알고 있습니다. 이런 경우 mean free path를
Chamber의 Size를 기준으로 계산을 해도 되는지 여쭤보고
싶습니다. 만일 안된다면 어떤 이유인지요...^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103343
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24717
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61534
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73521
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105953
41 형광등과 플라즈마 20389
40 확산펌프 [DP 변수 검토] 20660
39 Three body collision process 20786
38 교재구입 20843
37 이온주입량에 대한 문의 20907
36 플라즈마란? [제 4의 물질 상태] 21170
35 RF plasma에 대해서 질문드립니다. [Sheath model, Ion current density] [2] 21370
34 플라즈마 실험 21427
33 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21609
32 Breakdown에 대해 21669
31 CCP에서 Area effect(면적)? [Self bias와 sheath capacitance] 21690
30 manetically enhanced plasmas 21778
29 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22144
28 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22250
27 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential] [2] 23107
26 고온플라즈마와 저온플라즈마 23380
25 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [Remote plasma의 Radical] [1] 23398
24 DC glow discharge 23423
23 plasma and sheath, 플라즈마 크기 24191
22 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24206

Boards


XE Login