안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102822
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24683
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61405
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73471
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105818
41 형광등과 플라즈마 20387
40 확산펌프 [DP 변수 검토] 20659
39 Three body collision process 20786
38 교재구입 20842
37 이온주입량에 대한 문의 20907
36 플라즈마란? [제 4의 물질 상태] 21166
35 RF plasma에 대해서 질문드립니다. [Sheath model, Ion current density] [2] 21365
34 플라즈마 실험 21425
33 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21608
32 CCP에서 Area effect(면적)? [Self bias와 sheath capacitance] 21666
31 Breakdown에 대해 21666
30 manetically enhanced plasmas 21766
29 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22142
28 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22243
27 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential] [2] 23101
26 고온플라즈마와 저온플라즈마 23378
25 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [Remote plasma의 Radical] [1] 23381
24 DC glow discharge 23419
23 plasma and sheath, 플라즈마 크기 24187
22 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24205

Boards


XE Login