Plasma in general Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground]

2022.04.27 17:35

Akki 조회 수:871

Hello,

I am working on a ALD (Atomic layer deposition) product wherein we are processing multiple wafers in the single reactor. 

When we supply RF power to one of the reactor (i.e. REACTOR 1), the other reactor (REACTOR 2) beside reactor 1 is showing high Vpp value. We are not supplying RF power to reactor 2. (Please note reactor 1 & reactor 2 share the gas flow volume and are not fully isolated)
Why would this be happening ? 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102802
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24681
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61400
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73467
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105808
261 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 566
260 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 571
259 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 578
258 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 583
257 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 600
256 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 610
255 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 630
254 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [공정 조절과 CF4 계열 플라즈마] [1] 667
253 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 674
252 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 679
251 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 697
250 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 697
249 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 715
248 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 719
247 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 731
246 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 732
245 Floride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [Sputter setup 및 구동 원리] [1] 748
244 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 750
243 안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift] [1] file 768
242 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [Cleaning 후 재활용] [1] 782
쓰기
태그

Boards

XE Login