Hello,

I am working on a ALD (Atomic layer deposition) product wherein we are processing multiple wafers in the single reactor. 

When we supply RF power to one of the reactor (i.e. REACTOR 1), the other reactor (REACTOR 2) beside reactor 1 is showing high Vpp value. We are not supplying RF power to reactor 2. (Please note reactor 1 & reactor 2 share the gas flow volume and are not fully isolated)
Why would this be happening ? 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [181] 74898
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18754
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56234
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66724
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88142
231 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 402
230 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 402
229 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 419
228 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 428
227 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 432
226 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 462
225 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 462
224 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 467
223 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 482
» Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 484
221 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 486
220 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 495
219 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 507
218 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 541
217 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 542
216 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 573
215 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 579
214 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 604
213 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 611
212 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 632

Boards


XE Login