안녕하세요 저는 현재 PECVD 장비를 사용하는 연구원입니다.

 

어플라이드社의 PRODUCER-S 설비로 ACL 공정을 Set-up하고 있습니다.

 

Unif를 잡기위해서 압려과 RF Power를 건드려 가며 조정 중에 있는데

 

RF Ref가 어떤 조건에서는 높게 뜨고 어떤 조건에서는 낮게 뜨는데 어떤 조건이 영향을 미칠까요?

 

알려주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76431
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19995
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57067
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91342
250 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 372
249 plasma modeling 관련 질문 [1] 375
248 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 385
247 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 386
246 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 423
245 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 423
244 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 426
243 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 434
242 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 437
241 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 441
240 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 443
239 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 460
238 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 460
237 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 461
236 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 467
235 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 473
234 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 475
233 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 477
232 self bias [1] 498
» Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 514

Boards


XE Login