교수님 안녕하세요.

 


1.
http://pal.snu.ac.kr/index.php?mid=board_qna_new&category=67497&document_srl=78754
(Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate)

 

글 두번째 문단에 '다음으로 플라즈마 밀도를 제어하기 위해서 edge ring 혹은 confinement ring 등을 써서 플라즈마 확산을 줄이고 있습니다.'
부분에 대해 질문드립니다.
→ edge ring 혹은 confinement ring을 통해 "플라즈마 확산을 줄여" 플라즈마 균일하게 밀도를 제어한다는 말씀이신데,

 

두번째 문단 '가운데 밀도는 비교적 높고 가장자리로 가면서 밀도는 떨어지게 됩니다.'
→ 가장자리로 갈수록 플라즈마 밀도가 떨어지는데,
"플라즈마 확산을 늘려야" 플라즈마 밀도를 균일하게 제어할 수 있는 것이라 생각해 이에 대해 질문드리고 싶습니다.


2. Edge Ring이 플라즈마 밀도의 균일성을 높이는 원리를 설명해주실 수 있을까요?

 

 

항상 이 곳에서 많은 도움을 받고, 공부하고 있습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76700
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20156
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68682
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92222
213 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 780
212 Collisional mean free path 문의... [1] 785
211 플라즈마 충격파 질문 [1] 793
210 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 804
209 Self bias 내용 질문입니다. [1] 807
208 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 823
207 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 851
206 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 853
205 문의 드립니다. [1] 866
204 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 866
203 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 940
202 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 942
201 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 954
200 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 956
199 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 961
198 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 966
197 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 997
196 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
195 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
194 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1036

Boards


XE Login