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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61628
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157 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1137
156 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1138
155 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 1175
154 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1177
153 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1197
152 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1199
151 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1252
150 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1268
149 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1271
148 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1271
147 질문있습니다. [1] 1365
146 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1377
145 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1458
144 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1472
143 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1653
142 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1767
141 플라즈마볼 제작시 [1] file 1794
140 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 1818
139 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1906
138 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 1940

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