플라즈마를 코팅 기술에 사용할때 단점이나 보안할 점을 알려주실수있을까요? 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [336] 108333
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26552
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 63695
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75392
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 109017
201 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 1332
200 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 1339
199 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1352
198 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1367
197 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1396
196 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1420
195 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1435
194 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1442
193 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1443
192 Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동] [1] 1454
191 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation] [1] 1456
190 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1485
189 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [PMI] [2] 1495
188 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [Chamber impedance] [2] 1500
187 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1500
186 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1533
185 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1533
184 wafer bias [Self bias] [1] 1576
183 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1594
182 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1641

Boards


XE Login