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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [LF와 Sheath]
[1] | 2895 |
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PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [전극 표면 전위]
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아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
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electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [Maxwallian EEDF]
[2] | 3530 |
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코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해]
[1] | 3572 |
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CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포]
[1] | 3625 |
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방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압]
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Bias 관련 질문 드립니다. [Ion plasma frequency]
[1] | 3764 |
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plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model]
[2] | 3914 |
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Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색]
[1] | 3978 |
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RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다 [고주파 플라즈마 반응 특성]
[2] | 4006 |
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Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘]
[1] | 4112 |
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진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [Chemisorption과 pruege gas]
[1] | 4265 |
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ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘]
[2] | 4333 |
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RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [플라즈마 유전상수]
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RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [충돌 반응 rate constant]
[4] | 4778 |
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Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath]
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RF power에 대한 설명 요청드립니다. [Child-Langmuir sheath 및 Debye length]
[1] | 5523 |
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RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스]
[1] | 6017 |
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OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature]
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