번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49789
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55049
104 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 63
103 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 192
102 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 205
101 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 209
100 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 212
99 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 213
98 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 213
97 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 229
96 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 264
95 RF 변화에 영향이 있는건가요? 265
94 가입인사드립니다. [1] 277
93 핵융합 질문 [1] 278
92 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 281
91 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 293
90 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 305
89 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 327
88 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 337
87 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 367
86 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 383
85 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 387

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