번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 714
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58444
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72398
122 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 133
121 anode sheath 질문드립니다. [1] 144
120 라디컬의 재결합 방지 [1] 155
119 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 163
118 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 169
117 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 172
116 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 202
115 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 257
114 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 268
113 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 276
112 핵융합 질문 [1] 324
111 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 326
110 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 326
109 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 335
108 플라즈마 챔버 [2] 339
107 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 345
106 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 348
105 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 395
104 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 396
103 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 407
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