번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48775
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 52795
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 60677
110 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 100
109 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 104
108 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 154
107 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 227
106 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 236
105 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 247
104 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 266
103 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 282
102 가입인사드립니다. [1] 288
101 RF 변화에 영향이 있는건가요? 289
100 핵융합 질문 [1] 294
99 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 297
98 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 312
97 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 313
96 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 319
95 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 340
94 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 364
93 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 376
92 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 386
91 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 424

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