공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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110 |
ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
[2] | 100 |
109 |
H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련
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108 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 154 |
107 |
Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문)
[1] | 227 |
106 |
수중방전에 대해 질문있습니다.
[1] | 236 |
105 |
좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[2] | 247 |
104 |
Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생
[1] | 266 |
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Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
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가입인사드립니다.
[1] | 288 |
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RF 변화에 영향이 있는건가요?
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핵융합 질문
[1] | 294 |
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Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 297 |
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ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 312 |
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RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의
[1] | 313 |
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해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1] | 319 |
95 |
산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다.
[1] | 340 |
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조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문
[1] | 364 |
93 |
챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[2] | 376 |
92 |
HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의
[1] | 386 |
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코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다
[1] | 424 |