안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76636
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20142
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57145
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68666
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92111
158 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 50
157 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 55
156 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 77
155 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 78
154 skin depth에 대한 이해 [1] 79
153 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 82
152 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 122
151 ICP에서 전자의 가속 [1] 124
150 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 143
149 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 245
148 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 317
147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 346
146 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 424
145 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 432
144 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 468
143 plasma striation 관련 문의 [1] file 468
142 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 498
141 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 512
140 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 516
139 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 519

Boards


XE Login