안녕하십니까.. 현재 반도체업계 종사중이며 Plasma 관련 일을 하고 있습니다. 

다름이 아니오라 궁금한 점이 있어 이렇게 글을 올립니다.

Plasma에 의한 Gas 분해 및 치환 시 하기와 같은 예로


Zr[N(CH3)(C2H5)]4 ---->Zr + N + C + H    (O2 Add)

-- Zr + O2 --->ZrO2

-- C + O2 -->CO2

-- N + N --> N2

-- 4H + O2 -->2H2O

반응하여 생성된다고 가정하였을 때


반도체 공정중에서 Plasma를 발생시켜 Source Gas 및 Add Gas를 반응시켰을 시

1. 생성되는 Powder 종류

2. 생성되는 Gas 종류

3. 항목 1~2에서 우선순위로 생성되는 Gas 및 Powder 종류


위 내용에 관련하여 조언 및 교육을 받고자 하오니 답변 부탁드리겠습니다.


이상입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
155 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 22
154 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 35
153 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 71
152 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 94
151 ICP에서 전자의 가속 [1] 108
150 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 130
149 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 235
148 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 307
147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 333
146 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 405
145 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 425
144 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 461
143 plasma striation 관련 문의 [1] file 462
142 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 467
141 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 492
» Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 508
139 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 515
138 핵융합 질문 [1] 561
137 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 566
136 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 574

Boards


XE Login