ICP ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해]

2024.02.29 14:09

김준서 조회 수:3192

안녕하세요, 전자공학과 2학년 학부생입니다.

쉬스에 대해 공부를 하던 중, CCP에서는 Cathode 부근에서 쉬스가 형성되고, sheath potential을 극복한 전자가 해당 쉬스로 들어와 음전압 강하로 인해 가속되는 것이 주된 메커니즘이라고 이해했습니다.

ICP에서도 벽면에 쉬스가 형성되겠지만, 이는 전자가 가속되기엔 충분치 않으므로 RF Coil에 의한 전기장에 의해 가속되는 것이 주된 메커니즘이라고 생각해도 될까요? 

 

추가로, CCP & ICP 에서 챔버 내 반경에 따른 플라즈마의 밀도의 차이를 알고 싶은데 어떤 식으로 접근해야 할 지 궁금합니다.

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [336] 108378
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26566
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 63702
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75407
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 109035
173 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 382
172 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 406
171 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 434
170 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 451
169 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 454
168 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 464
167 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 486
166 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 510
165 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 528
164 CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력 [1] 549
163 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 560
162 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 563
161 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 573
160 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 576
159 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 592
158 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 594
157 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 632
156 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [ICP와 H field] [1] 680
155 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 705
154 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 718
쓰기
태그

Boards

XE Login