번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73031
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17616
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55516
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86027
121 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 542
120 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 593
119 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 600
118 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 604
117 anode sheath 질문드립니다. [1] 608
116 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 614
115 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 614
114 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 624
113 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 671
112 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 707
111 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 707
110 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 756
109 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 760
108 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 785
107 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 791
106 Plasma Generator 관련해서요. [1] 808
105 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 814
104 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 834
103 플라즈마 챔버 [2] 840
102 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 868
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