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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58444
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102 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 411
101 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [1] 425
100 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 467
99 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 483
98 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 500
97 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 516
96 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 539
95 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 554
94 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 570
93 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 590
92 공정플라즈마 [1] 619
91 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 628
90 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 632
89 Plasma Generator 관련해서요. [1] 640
88 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 678
87 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 693
86 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 728
85 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 735
84 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 751
83 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 827

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