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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93633
127 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 829
126 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 835
125 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 843
124 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 849
123 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 854
122 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 864
121 라디컬의 재결합 방지 [1] 864
120 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 886
119 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 895
118 Plasma Generator 관련해서요. [1] 922
117 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 929
116 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 958
115 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 1004
114 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1053
113 anode sheath 질문드립니다. [1] 1072
112 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1082
111 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1091
110 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1120
109 공정플라즈마 [1] 1199
108 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1224
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