ICP Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance]

2018.12.21 07:56

정용진 조회 수:1979

안녕하세요, dusty 플라즈마를 활용해서 나노소재를 만드는 연구를 하는 한 학생입니다.

 

플라즈마 electron density 를 증가하고자 CCP 에서 ICP 로 바꿔서 실험을 진행하고 있는데요,

 

Ar gas 만 흘럿을때는 매우 아름다운 ICP 효과를 얻을 수 있는데,

O2 gas 를 넣는 순간 ICP 효과가 사라집니다.

 

튜브 사이즈는 직경 2인치이고, power 는 200 W 정도 인가하였는데 

매칭박스의 매칭이 잘 되지는 않습니다. 

 

주로 CCP 만 사용하다가 ICP 를 사용하게 되어 매칭박스에 관해 지식이 짧은데,

혹시 ICP 를 사용할때는 이 모드에 맞게 매칭박스를 바꾸어야 하는지요?

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103317
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24715
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61525
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73519
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105951
113 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정] [1] 1408
112 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias] [1] 1420
111 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD] [1] 1449
110 anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘] [1] 1465
109 공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식] [1] 1470
108 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1540
107 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1562
106 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1602
105 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1602
104 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응] [1] file 1630
103 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법] [3] 1641
102 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 1644
101 플라즈마 챔버 [화학반응 및 내열조건] [2] 1704
100 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1767
99 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation] [1] 1808
98 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1875
97 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1881
96 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도] [1] 1909
95 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [Ar plasma, Ar metastable] [1] 1917
94 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance] [3] 1918
쓰기
태그

Boards

XE Login