안녕하세요. 일반 회시에 다니는 회사원입니다.

다름이 아니고 마이크로웨이브파를 이용 플라즈마 발생장치에 관심이 있어 질문 드립니다.

만약 마그네트론 + 리액터 + 웨이브가이드  3개로 구성된 장치가 있는데 만약 여기에 사용되는 전력이 플라즈마를 발생시키기 위해서 마그네트론

과 리액터내 플라즈마를 발생시키기 위한 전력만 소모되는지요? 마그네트론은 1kw짜리 이고 리액터에 사용되는 플라즈마 발생장치는 저온 플라즈마(500~600도) 입니다.

개발업체에서는 플라즈마를 발생시키기 위해서 사용전력이 많이 들어간다고 하는데 얼마정도 인지 확인이 안되고 있습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76815
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20244
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57186
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68737
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92573
61 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4509
60 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 5013
59 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 6024
58 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6368
57 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
56 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6663
55 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7655
54 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8134
53 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8578
52 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8620
51 수중플라즈마에 대해 [1] 8748
50 대기압 플라즈마에 대해서 9639
49 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9669
48 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9844
47 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10365
46 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11400
45 냉각수에 의한 Power Leak 14447
44 remote plasma 데미지 질문 [1] 14474
43 In-flight plasma process 15505
42 ICP TORCH의 냉각방법 15920

Boards


XE Login