안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76794
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20230
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57178
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68723
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92495
59 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 6014
58 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6367
57 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
56 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6657
55 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7655
54 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8133
53 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8576
52 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8620
51 수중플라즈마에 대해 [1] 8745
50 대기압 플라즈마에 대해서 9637
49 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9667
48 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9844
47 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10363
46 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11377
45 냉각수에 의한 Power Leak 14447
44 remote plasma 데미지 질문 [1] 14470
43 In-flight plasma process 15505
42 ICP TORCH의 냉각방법 15920
41 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 16037
40 CCP 의 electrode 재질 혼동 16488

Boards


XE Login