Sheath Self Bias [Self bias와 플라즈마 특성 인자]

2004.06.21 15:52

관리자 조회 수:36740 추천:253

질문 ::

self bias(DC bias)전압에 대하여 문의드립니다.
실제로 DC bias sensor로 측정을 하고 sputter를하게되면
450[v]정도에서는 데포가 되지않고, 600[v]이상에서는 데포가 됩니다.
이것을 중요하게 생각하는것이아니라. 개인적으로
target size, chamber wall, impedance matching(?)가 관련이 있는것으로
생각되어지구요.. 이것이 맞는것이지,
다른 원인이 있는것인지 궁금합니다.

답변 ::

Self bais는 전극에 하전되는 전하량에 비례하게 됩니다. 따라서
따라서 하전되는 전하량은 당연히 전극의 크기와 플라즈마 밀도와
상대 전극의 크기등에 비례하겠지요. 플라즈마 밀도와 온도는
전극으로 들어오는 플라즈마 전류량에 영향을 미치게 되어 중요하고
전극의 크기들은 전체 하전량을 좌우함으로 또한 중요하게 됩니다.
아울러 플라즈마 임피던스는 플라즈마 밀도와 온도의 함수이므로
질문하신 플라즈마 임피던스도 관련되는 인자임이 틀림없게 됨니다만
보다 정확한 표현은 플라즈마 특성 인자들, 온도, 밀도라 하겠습니다.
 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102861
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24688
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73479
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105832
35 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 732
34 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 854
33 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 875
32 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 951
31 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 956
30 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1202
29 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1284
28 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1405
27 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1466
26 wafer bias [Self bias] [1] 1530
25 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1625
24 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath] [1] 2400
23 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2589
22 LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리] [2] 2797
21 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [전극 표면 전위] [1] 3362
20 CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포] [1] 3947
19 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model] [2] 4425
18 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath] [1] 5459
17 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9201
16 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9471

Boards


XE Login