번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
27 Druyvesteyn Distribution 87
26 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 340
25 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 542
24 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 749
23 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1048
22 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1744
21 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 2063
20 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2305
19 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2427
18 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3175
17 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3326
16 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5991
15 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8150
14 산업용 플라즈마의 특성 15189
13 고온플라즈마와 저온플라즈마 17498
12 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17836
11 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17851
10 저온 플라즈마에 관한 질문 18212
9 등온플라즈마와 비등온플라즈마 18775
8 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 18876

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