안녕하세요, 한국기술교육대학교에서 석사과정중인 최인규입니다.


현재, Plasma 상태에서의 분자와 기판의 반응을 시뮬레이션을 통해서 모사해 보려고 하고 있습니다.


다만 현재 N 플라즈마 상태에서, N이 어떠한 형태로 존재하는지 알지 못하고 있습니다. 


H 플라즈마의 경우에는 I. Mendezet al , J. Phys. Chem . Rev . A 110 2006 ) 6060 6 논문을 참고하여, 


H 원자 형태로 가장 많이 존재하며 그 이후로 H3+, H+, H2+ 순으로 구성되어있다고 하는데,


N 플라즈마의 경우 대부분이 N+ / N2+ 의 비율로만 보여주고 있어 어려움이 있습니다.


혹 N이 이온이 아닌 원자 형태로 존재하는지, 존재를 한다면 N+, N2+ 대비 얼마나 존재 할지 궁금하여 질문드립니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [46] 963
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 748
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49342
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58726
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72991
23 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 175
22 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 190
» N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 798
20 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1087
19 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1281
18 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 1351
17 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 2170
16 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 4687
15 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7471
14 산업용 플라즈마의 특성 14807
13 고온플라즈마와 저온플라즈마 16702
12 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 16864
11 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 17047
10 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17348
9 저온 플라즈마에 관한 질문 18018
8 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? 18089
7 등온플라즈마와 비등온플라즈마 18623
6 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 18723
5 플라즈마 진동수와 전자온도 19236
4 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21392

Boards


XE Login