안녕하십니까, 교수님. 전자과 3학년 학부생입니다.

최근 탐침에 대해 관심이 생겨 공부하던 중, EEDF(EEPF)라는 개념을 접하게 되었는데, 궁금한 부분이 있어 질문 드립니다.

 

공정에 쓰이는 저온 플라즈마의 경우, 입자간 충돌이 상대적으로 적어 입자간 열평형을 이루지 않고, 전자의 경우 maxwellian 분포를 가정한다고 알고있었습니다.

최근 읽은 자료에 따르면,  공정 플라즈마는 non-maxwellian인 경우가 많고, 이는 logEEPF의 기울기를 통해 알 수 있다고 합니다.

 

1. LogEEPF의 기울기라 함은, 전자온도를 의미하는데, 전자 에너지의 대푯값인 전자온도가 두가지인 것이 무엇을 의미하는 것인지 궁금합니다.

2. Non maxwellain 분포가 발생하는 원인이 궁금합니다. 개인적인 생각으로 하나의 원인은, 고에너지의 전자는 쉬스의 voltage barrier을 뚫고 들어가 가열되므로 고에너지 전자의 전자온도(기울기)가 증가한다고 생각했습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
27 Druyvesteyn Distribution 13
» Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 218
25 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 482
24 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 698
23 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1015
22 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1702
21 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1987
20 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2268
19 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2286
18 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3167
17 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3236
16 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5936
15 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8126
14 산업용 플라즈마의 특성 15162
13 고온플라즈마와 저온플라즈마 17447
12 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17730
11 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17812
10 저온 플라즈마에 관한 질문 18194
9 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 18759
8 등온플라즈마와 비등온플라즈마 18768

Boards


XE Login