안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [131] 5631
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16937
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51356
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64231
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84428
94 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 65
93 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 238
92 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 295
91 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 304
90 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 305
89 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 317
88 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 323
87 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 332
86 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 346
85 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 417
84 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 441
83 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 484
82 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 512
81 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 513
80 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 623
79 플라즈마 관련 교육 [1] 631
78 플라즈마 충격파 질문 [1] 678
77 문의 드립니다. [1] 716
76 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 720
75 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 758

Boards


XE Login