안녕하세요. 제가 최근에 플라즈마 코팅관련 회사에 입사하여 현재 플라즈마 공부중 입니다.

현재 VPS장비로 테스트 중인데 0~1 torr 보다 30~50 torr 일 떄 플라즈마제트의 모습이 훨씬 안정적인 이유를 어떻게 설명할 수 있을까요?

0~1 torr 일 때는 플라즈마의 형상이 지나치게 두껍고 불안정적인 모습입니다. 반면 챔버 내부의 압력을 증가시켰을 때는 훨씬 안정적이고

얇은 플라즈마의 형태를 띄고 있습니다. 이를 residence time과 관련해서 이해를 해야할까요?

아직 많은 논문들을 찾진 못했지만 대부분의 논문에서도 30~300 torr로 실험한 조건들이 많아 보였습니다.

또 다른 한가지 질문은 VPS 공정에서 분위기가스 즉 챔버내를 아르곤같은 불활성기체로 채워주는 이유는 단순하게 산화나 질화등을 막기

위함인가요? 분위기가스의 역할을 어떻게 정의하면 될까요?

기초적인 질문 죄송합니다. 답변 주시면 감사하겠습니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102649
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24663
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61363
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73446
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105755
102 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 296
101 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 324
100 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 402
99 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 429
98 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 472
97 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 562
96 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 577
95 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 674
94 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 697
93 Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant] [1] 714
92 Floride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [Sputter setup 및 구동 원리] [1] 744
» VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 750
90 안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift] [1] file 768
89 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [Cleaning 후 재활용] [1] 779
88 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy] [1] 879
87 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 965
86 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 1033
85 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1056
84 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 1060
83 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 1075

Boards


XE Login