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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58444
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19 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 133
18 anode sheath 질문드립니다. [1] 144
17 라디컬의 재결합 방지 [1] 155
16 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 169
15 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 172
14 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 202
13 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 407
12 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 411
11 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [1] 425
10 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 539
9 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1007
8 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 6215
7 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 6218
6 CCP 의 electrode 재질 혼동 16053
5 capacitively/inductively coupled plasma 17271
4 RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] 18695
3 CCP/ICP , E/H mode 20601
2 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 22311
1 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 22846

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