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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63769
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83577
23 plasma striation 관련 문의 file 9
22 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 204
21 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 319
20 라디컬의 재결합 방지 [1] 415
19 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 452
18 anode sheath 질문드립니다. [1] 461
17 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 473
16 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 523
15 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 641
14 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 727
13 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 805
12 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1040
11 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1218
10 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2426
9 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7278
8 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16006
7 CCP 의 electrode 재질 혼동 16193
6 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 16581
5 capacitively/inductively coupled plasma 17497
4 RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] 18766

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