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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[332]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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안녕하세요. 교수님 ICP 관련하여 문의드립니다. [충돌 단면적 및 반응 계수]
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RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect]
[1] | 2935 |
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Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization]
[1] | 3052 |
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CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [Plasma source와 loss]
[3] | 4522 |
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ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류]
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F/S (Faraday Shield)
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glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압
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ccp-icp
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플라즈마의 발생과 ICP
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No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율]
| 23333 |
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3 |
플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절]
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2 |
[질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [Sheath model과 bias]
[3] | 24928 |
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ICP 플라즈마에 관해서
[2] | 32602 |
