Monitoring Method charge effect에 대해
2019.03.20 11:10
안녕하세요
저는 SiO2 기판을 홀더 위에 두고 수소플라즈마를 띄워 실험을 진행하는데
이 기판이 부도체이다보니 기판에 전하가 빠져나가지 못하고 축적되는 것 같습니다.
이 기판의 charge effect를 챔버안 플라즈마를 띄운 상태에서 어떤 장비를 사용하여 실험적으로 어떻게 측정할 수 있는지 혹은 관련 논문이 있는지 알고싶습니다.
답변기다리고 있겠습니다. 감사합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68749 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92620 |
23 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 2327 |
22 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2886 |
21 | Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] | 3331 |
20 | 자료 요청드립니다. [1] | 6209 |
19 | RGA에 대해서 | 10549 |
18 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14733 |
17 | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 16072 |
16 | PSM을 이용한 Radical측정 방법 | 17078 |
15 | RF compensate probe | 18452 |
14 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18731 |
13 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19051 |
12 | QMA에 관하여 [1] | 19431 |
11 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19691 |
10 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20262 |
9 | Langmuir probe tip 재료 | 20411 |
8 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20580 |
7 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20807 |
6 | 대기압플라즈마 진단 | 21025 |
5 | 플라즈마 측정기 [1] | 21334 |
4 | pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] | 22622 |