안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4914
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16257
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63759
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83574
38 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 389
37 활성이온 측정 방법 [1] 447
36 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 698
35 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 777
34 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 807
33 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 821
32 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 849
31 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 858
30 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 920
29 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 929
28 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 943
27 charge effect에 대해 [2] 1156
26 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1225
25 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1387
24 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1556
23 Wafer particle 성분 분석 [1] 1927
22 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2078
21 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2975
20 자료 요청드립니다. [1] 6019
19 RGA에 대해서 10230

Boards


XE Login