B dot 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
2017.11.27 04:58
플라즈마 진단에서 로고스키 코일의 역할이 무언가요?
로고스키 코일의 원리는 무엇인가요>???
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73076 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17641 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65729 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86104 |
| 42 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 57 |
| 41 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 276 |
| 40 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 318 |
| 39 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 374 |
| 38 | 활성이온 측정 방법 [1] | 485 |
| 37 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 498 |
| 36 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1]  | 844 |
| 35 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 859 |
| 34 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 893 |
| 33 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1] | 920 |
| » | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 1005 |
| 31 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1072 |
| 30 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1106 |
| 29 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1184 |
| 28 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 1202 |
| 27 | charge effect에 대해 [2] | 1241 |
| 26 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1305 |
| 25 | ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] | 1514 |
| 24 | 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] | 1672 |
| 23 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 2054 |
로고스키 코일은 플라즈마 전류로 부터 발생하는 자기장을 유도 기전력으로 측정하는 장치로서, Faraday's induction 법칙을 활용함으로 b-dot probe라고도 표현이 됩니다. 기전력 값을 키우기 위해서 coil turn 수가 늘어나게 되고, coil를 잘 감고 내부 기생 전압을 제거하기 위해 coil의 역방향을 추가하는 등의 tip이 있습니다만, 기본적인 플라즈마 진단 방법이니 plasma diagnostics 관련 자료를 보면 구동 원리와 제작 방법을 확인하실 수 있겠습니다. 많은 경우 제작 한 후에 calibration 과정을 거쳐 민감도를 향상시키게 됩니다.