현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다. 

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76908
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20297
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57215
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68765
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92730
43 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 450
42 활성이온 측정 방법 [1] 574
41 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 610
40 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 615
» CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 714
38 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 737
37 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 781
36 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1021
35 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1029
34 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1070
33 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1321
32 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1329
31 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1355
30 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1380
29 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1411
28 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1460
27 charge effect에 대해 [2] 1482
26 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1681
25 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1862
24 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1975

Boards


XE Login