번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76657
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92144
121 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 50
120 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 66
119 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 190
118 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 322
117 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 345
116 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 353
115 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 387
114 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 403
113 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 472
112 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 536
111 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 543
110 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 545
109 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 584
108 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 623
107 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 632
106 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 656
105 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 695
104 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 714
103 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 763
102 RF 파워서플라이 매칭 문제 810

Boards


XE Login