번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48660
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 56135
85 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 50
84 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 82
83 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 98
82 알고싶습니다 [1] 118
81 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 123
80 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 208
79 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 292
78 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 295
77 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 295
76 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 312
75 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 425
74 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. 433
73 고진공 만드는방법. [1] 565
72 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 592
71 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 627
70 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 665
69 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 677
68 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 699
67 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 734
66 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 741
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