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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65716
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110 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 101
109 ESC DC 전극 Damping 저항 252
108 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 319
107 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 327
106 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 444
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104 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 473
103 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 494
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101 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 506
100 RF 파워서플라이 매칭 문제 519
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98 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 637
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96 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 681
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94 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 802
93 고진공 만드는방법. [1] 852
92 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 857
91 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 870

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