Matcher Plasma Arching

2022.09.13 19:17

플라즈마어렵다1 조회 수:664

안녕하십니까!

경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데 

신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?

 

답변주시면 감사하겠습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [181] 74898
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18754
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56234
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66729
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88169
110 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 47
109 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 291
108 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 394
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 404
106 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 484
105 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 500
104 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 543
103 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 557
102 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 567
101 RF 파워서플라이 매칭 문제 581
100 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 607
» Plasma Arching [1] 664
98 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 684
97 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 718
96 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 791
95 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 858
94 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 877
93 고진공 만드는방법. [1] 899
92 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 942
91 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 945

Boards


XE Login