Chamber Impedance Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
2022.09.27 13:01
안녕하세요.
저는 RF Generator의 power amlifier를 연구하고 있는 학생입니다.
Load impedance를 50 ohm으로 설계를 했는데 matcher가 없을 때의 power amlifier의 성능을 확인하고자 합니다.
Chamber impedance의 범위가 어떻게 되는지 질문드립니다.
감사합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75022 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18864 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56341 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66857 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88326 |
110 |
ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다
[1] ![]() | 53 |
109 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 296 |
» | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 394 |
107 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 407 |
106 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 484 |
105 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 500 |
104 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 543 |
103 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 560 |
102 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 572 |
101 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 583 |
100 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 609 |
99 | Plasma Arching [1] | 667 |
98 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 685 |
97 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 719 |
96 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 792 |
95 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 862 |
94 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 879 |
93 | 고진공 만드는방법. [1] | 899 |
92 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 942 |
91 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 947 |