ESC 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.

2023.03.08 15:28

윤정환 조회 수:299

안녕하세요.

실제 양산에서 150mm 200mm 300mm 정전척 마다 chucking을 위해 인가 되는 voltage 값이 얼마 정도 되는지 궁금합니다.

그리고 chucking voltage가 너무 크면 생기는 문제와 그 maximum 값을 정하는 지표가 따로 있을까요?

너무 궁금해서 논문도 찾아보고 그러는데 오픈 되어있는 정보가 너무 없는 것 같아서 답답하네요..

도움을 부탁드립니다...

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