질문을 제가 잘 이해했는지 모르겠습니다만, V(전원)=V(matcher)+V(안테나)로 결정될 것 같습니다.

그리고 impedance match 를 V-I phase를 조절하는 것으로 이해하시면 좋을 것 같습니다. match가 되었다면 forward wave 와 reflect wave의 phase를 맞추어 standing wave 형태의 전압-전류, 즉 phase의 왜곡이 없는 조건이 형성됨을 의미합니다. 여기서 플라즈마가 발생하면 plasma current loop 가 만들어지고, plasma전위가 형성되고 이에 따라  antenna 의 field 가 변하게 되어, 이 변화와 RF 입력 phase를 맞추는 것을 matcher 의 역할이라 생각할 수 있을 것 같습니다. 

impedance match, 매질 속에서 wave 의 전파 그리고, ICP 의 경우 transformer circuit model의 주제어로 자료를 찾아 보시면 좋을 것 같습니다. 

안녕하세요. 

1. 현재 설비는 VOLTAGE MODE를 사용중인데, 이때 Generator에서 인가하는 Voltage가 Vgen이라고 하면 BIAS RF VOLTAGE = Vgen = Vpp 동일한 값을 가지는지 궁금합니다.

RF를 Voltage로 제어하신다고 하면, process voltage mode로 제어하는 것으로 판단됩니다.

DC bias 혹은 Vpeak to peak 로 일반적으로 제어하며, 이는 RF output 센서(일렉트로드에 부하되는 전압 전류 등을 읽는 디렉셔너 커플러)에 전압이 도달 할 때 까지 전력을 제어하는 것입니다. (요새 나오는 발전기는 논리회로 변경이 가능하긴 합니다. 오프셋을 주던가의 등등) 일반적으로 이 센서를 RF match output에 장착하거나 따로 electrode에 probe 센서를 장착하여 external 시그널로 제어하는 것을 말합니다.

  2-1 동일하다면, VOLTAGE MODE에서는 FREQUENCY 가변을 하게되면 임피던스의 변화에 따라 BIAS FORWARD POWER가 변한다는 가정이 옳다고 볼 수 있을까요?

VSWR이 1에 가까워지는 주파수 튜닝을 한다면 인가되는 전력은 낮아질 것으로 예상됩니다.(설정된 process voltage에 가도록 load power regulation한다고 생각하시면 될 것 같습니다.)

Vector network analyzer로 RF matching 회로로 주파수 sweep를 해보고 Vpp값을 이론치로 하여 예상 전력을 계산해봐도 되나,

실제 발전기의 부하되는 전력을 customer GUI나 통신으로 reading 할 수 있어보입니다.

Auto frequency tuning인가요? 아님 메뉴얼 튜닝을 하시나요?

  2-2 FORWARD POWER가 변한다는 가정하에, REFLECT POWER 역시 변할텐데, 결과적으로 LOAD POWER도 같이 변할 것으로 생각되는데 해당 가설이 적절한가요?

제네레이터가 forward power regulation인지 load power regulation인지 알아야합니다.

Forward power regulation : Setpower point = Fwd power + relfected power

Load power regualtion : Setpower point = Load power

 
  3. POWER MODE에서는 FORWARD POWER가 SET된 값으로 인가되기때문에 RF Frequency 가변에 따라 Vpp값도 변하여 Forward POWER는  일정한게 맞을까요?

RF matching이 VSWR이 동일하게 매칭되었을 때는 Forward power는 비슷 할 것으로 추측됩니다.