번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76411
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91339
121 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. 1
120 Edge ring의 역할 및 원리 질문 9
119 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 30
118 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 287
117 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 315
116 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 321
115 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 341
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 357
113 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 365
112 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 435
111 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 526
110 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 537
109 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 568
108 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 592
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 601
106 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 618
105 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 643
104 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 647
103 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 660
102 RF 파워서플라이 매칭 문제 778

Boards


XE Login