번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48631
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50135
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55155
62 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 806
61 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 820
60 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 986
59 Si Wafer Broken [2] 1178
58 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1201
57 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1242
56 chamber impedance [1] 1262
55 임피던스 매칭회로 [1] file 1269
54 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 1294
53 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1407
52 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1519
51 ESC Cooling gas 관련 [1] 1557
50 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 2590
49 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 2626
48 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 2779
47 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 2949
46 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 3426
45 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 4159
44 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 4316
43 RF calibration에 대해 질문드립니다. 4805

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