kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20181 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| » | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68697 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92276 |
| 102 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 815 |
| 101 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 839 |
| 100 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 844 |
| 99 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 881 |
| 98 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 959 |
| 97 | 고진공 만드는방법. [1] | 1008 |
| 96 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1008 |
| 95 | Plasma Arching [1] | 1051 |
| 94 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1113 |
| 93 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1157 |
| 92 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1223 |
| 91 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1270 |
| 90 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1]  | 1324 |
| 89 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1416 |
| 88 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
| 87 | 알고싶습니다 [1] | 1457 |
| 86 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1458 |
| 85 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1459 |
| 84 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1463 |
| 83 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1514 |