제가 얼마전에 회사에 입사하였는데 일하는 부서도 플라즈마파트가 아님에도 뜬금없이 숙제를 하나 받았습니다.

다른건 하나도 가르쳐 주지 않고 질소를 1로 했을때 암모니아와 아르곤의 C.F.를 알아오라네요...

아무리 찾아도 무슨말인지도 모르겠습니다ㅠㅠ

어뜨케 어뜨케 간신히 찾아다니다 보니 mass flow에 관련된 거 같긴한데 이마저도 모르겠습니다.

저도 아는게 하나도 없어서 이렇게 밖에 질문 못하는점 양해 부탁드립니다.

혹시 아시는분 계시면 댓글이나 메일로 답장 부탁 드리겠습니다.

부단히 공부해서 다음에 질문할때는 초보티를 벗어나도록 하겠습니다.

감사합니다.

메일주소는 : say2541@naver.com 입니다.^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4907
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16241
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83561
88 고진공 만드는방법. [1] 787
87 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 794
86 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 816
85 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 822
84 RF matcher와 particle 관계 [2] 870
83 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 952
82 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 964
81 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1001
80 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1124
79 MATCHER 발열 문제 [3] 1141
78 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1158
77 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1199
76 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1251
75 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1454
74 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1543
73 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1591
72 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1605
71 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1640
70 chamber impedance [1] 1674
69 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1686

Boards


XE Login