안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.

 

pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side bottom에 달았습니다.

 

여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102724
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24675
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61390
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73458
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105793
112 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [플라즈마 회로 설계] [2] 848
111 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 871
110 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 903
109 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 944
108 RF 파워서플라이 매칭 문제 1018
107 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1095
106 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1100
105 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1161
104 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1172
103 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1235
102 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1274
101 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1314
100 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1368
99 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1402
98 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 1434
97 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1456
96 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 1479
95 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1524
94 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1616
93 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1620

Boards


XE Login