ESC ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
2017.12.18 05:12
반도체 업종에서 근무하는 사원 입니다.
PVD Chamber에서 ESC 사용하는데 Center tap bias의 역할과 Center tap bias로 생길 수 있는 문제점에 대해서
궁금하여 질문 드립니다..
아직 초년생이라 장비 manual을 보는데도 애로사항이 많아 문의 드립니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76732 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20202 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
102 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 815 |
101 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 839 |
100 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 844 |
99 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 885 |
98 | 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] | 960 |
97 | 고진공 만드는방법. [1] | 1008 |
96 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1008 |
95 | Plasma Arching [1] | 1051 |
94 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1113 |
93 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1157 |
92 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 1227 |
91 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 1270 |
90 | CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] | 1324 |
89 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1419 |
88 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
87 | 알고싶습니다 [1] | 1458 |
86 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1459 |
85 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1460 |
84 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1463 |
83 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1517 |