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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
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RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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90 |
rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning]
[1] | 1734 |
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Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching]
[1] | 1741 |
88 |
MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance]
[3] | 1756 |
87 |
ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
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알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터]
[1] | 1829 |
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반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment]
[1] | 1860 |
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending]
[1] | 1892 |
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IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항]
[2] | 1952 |
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압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [플라즈마 임피던스, 운전압력조절 방전 조건]
[1] | 2056 |
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Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 2082 |
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CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [Wafer bias와 chuck cap]
[1] | 2133 |
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13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]
[1] | 2157 |
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3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화]
[1] | 2292 |
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chamber impedance [장비 임피던스 데이터]
[1] | 2444 |
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analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리]
[1] | 2570 |
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CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다. [플라즈마 특성변화와 SH impedance 변화]
[1] | 2728 |
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Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [ESC coating와 dummy load]
[1] | 2760 |
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매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산]
[1] | 2808 |