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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[337]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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92 |
Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching]
[1] | 1803 |
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91 |
rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning]
[1] | 1809 |
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MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance]
[3] | 1835 |
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89 |
Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어]
[1] | 1841 |
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88 |
ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
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87 |
알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터]
[1] | 1913 |
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86 |
RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭]
[2] | 1913 |
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85 |
반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment]
[1] | 1998 |
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84 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending]
[1]  | 2001 |
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83 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항]
[2] | 2132 |
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82 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [플라즈마 임피던스, 운전압력조절 방전 조건]
[1] | 2186 |
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Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 2200 |
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80 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]
[1] | 2227 |
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CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [Wafer bias와 chuck cap]
[1] | 2238 |
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78 |
3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화]
[1] | 2398 |
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77 |
chamber impedance [장비 임피던스 데이터]
[1] | 2532 |
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76 |
CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다. [플라즈마 특성변화와 SH impedance 변화]
[1] | 2842 |
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75 |
임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property]
[4] | 2904 |
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Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [ESC coating와 dummy load]
[1] | 2921 |
