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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73480
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105840
92 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1625
91 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1662
90 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning] [1] 1734
89 Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching] [1] 1741
88 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1756
87 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1776
86 알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터] [1] 1829
85 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1860
84 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending] [1] file 1892
83 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항] [2] 1952
82 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [플라즈마 임피던스, 운전압력조절 방전 조건] [1] 2056
81 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 2082
80 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [Wafer bias와 chuck cap] [1] 2133
79 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2157
78 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화] [1] 2292
77 chamber impedance [장비 임피던스 데이터] [1] 2444
76 analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리] [1] 2570
75 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다. [플라즈마 특성변화와 SH impedance 변화] [1] 2728
74 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [ESC coating와 dummy load] [1] 2760
73 매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산] [1] 2808

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