번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5807
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53056
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64480
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85098
69 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1773
68 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1862
67 Si Wafer Broken [2] 1966
66 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1990
65 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2042
64 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2077
63 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2104
62 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2204
61 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2224
60 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2228
59 임피던스 매칭회로 [1] file 2262
58 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2266
57 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2406
56 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2798
55 ESC Cooling gas 관련 [1] 3036
54 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3887
53 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 3959
52 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4535
51 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4735
50 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5226

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