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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
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RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 6272 |
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플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6285 |
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RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
[4] | 6528 |
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ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
[1] | 6693 |
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정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 7283 |
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Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다.
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ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의
[1] | 9334 |
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플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ
[1] | 9482 |
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반응기의 면적에 대한 질문
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플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다.
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ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다.
[1] | 13486 |
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ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.
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Virtual Matchng
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Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다.
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electrode gap
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Faraday shielding & Screening effect
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최적의 펌프는?
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