Others Peak RF Voltage의 의미

2004.06.28 01:58

이석환 조회 수:22667 추천:266

질문

안녕하세요...

제가 사용중인 Matching Network 상에 RF Peak Volt가 Display되는데요.
이것의 의미가 궁금하구요, 이 Voltage와 Power와는
어떠한 관계가 있는지 궁금합니다.

감사합니다,.


답변

CCP 나 ICP의 전극이나 안테나에 인가되는 Power은
Current x Voltage 입니다. 여기서 전류나 전압값은 rms 값으로
peak 값의 1/sqrt(2) 값을 뜻하지요. 즉, peak 값은 약 70%에 해당합니다. 따라서 표시되는 전압은 CCP의 경우 power electrode에 인가되는
전압이며 ICP의 경우 안테나에 걸리는 전압의 peak 값입니다. 만일 전류가 일정하다면 전압의 크기가 커지게 되면 당연히 인가 전력이 증가하합니다.  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [299] 77675
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20699
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57624
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69123
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93355
27 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19861
26 석영이 사용되는 이유? [1] 20095
25 플라즈마 matching 20316
24 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] file 20433
23 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21151
22 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21240
21 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22297
20 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22606
» Peak RF Voltage의 의미 22667
18 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22966
17 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23364
16 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24684
15 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24801
14 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24813
13 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24951
12 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25605
11 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26318
10 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] 26548
9 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27275
8 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 27724

Boards


XE Login