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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59719
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33 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 192
32 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 316
31 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 358
30 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 378
29 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 461
28 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 481
27 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 612
26 MATCHER 발열 문제 [3] 1012
25 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1078
24 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1130
23 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1378
22 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1403
21 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1476
20 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1630
19 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1718
18 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 1834
17 임피던스 매칭회로 [1] file 1858
16 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 2409
15 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 5025
14 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5056

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