번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2558
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13516
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49689
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61628
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80242
35 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 234
34 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 350
33 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 416
32 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 452
31 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 471
30 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 525
29 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 564
28 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 635
27 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 825
26 MATCHER 발열 문제 [3] 1079
25 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1126
24 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1298
23 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1537
22 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1658
21 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1669
20 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1708
19 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1829
18 임피던스 매칭회로 [1] file 1971
17 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 2602
16 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 3557

Boards


XE Login