번호 제목 조회 수
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 87
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48827
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 54222
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 62619
29 RF 반사파와 이물과의 관계 25
28 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 85
27 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 112
26 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 355
25 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 792
24 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 817
23 Impedence 위상관련 문의.. [1] 860
22 MATCHER 발열 문제 [3] 868
21 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 1000
20 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1315
19 임피던스 매칭회로 [1] file 1513
18 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1519
17 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1555
16 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 1797
15 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 3671
14 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 3894
13 RF calibration에 대해 질문드립니다. 4879
12 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6118
11 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 8606
10 Virtual Matchng 16525

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