번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2673
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13885
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49813
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61756
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80439
35 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 260
34 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 357
33 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 440
32 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 469
31 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 483
30 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 538
29 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 584
28 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 657
27 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 838
26 MATCHER 발열 문제 [3] 1083
25 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1129
24 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1313
23 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1544
22 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1672
21 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1679
20 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1719
19 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1845
18 임피던스 매칭회로 [1] file 1978
17 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 2678
16 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 3579

Boards


XE Login