kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] | 74880 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18735 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56223 |
| » | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66682 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 87989 |
| 37 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 498 |
| 36 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 575 |
| 35 | Plasma Arching [1] | 653 |
| 34 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 716 |
| 33 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 788 |
| 32 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 852 |
| 31 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 933 |
| 30 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1063 |
| 29 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 1206 |
| 28 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1269 |
| 27 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1292 |
| 26 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1305 |
| 25 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 1547 |
| 24 | 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] | 1741 |
| 23 | 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] | 1839 |
| 22 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 1887 |
| 21 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2181 |
| 20 | 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] | 2188 |
| 19 |
임피던스 매칭회로
[1]  | 2433 |
| 18 | Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] | 2927 |