Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.
2022.04.19 11:40
안녕하세요
측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.
ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.
Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.
안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...
이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?
혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.
바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] | 74891 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18743 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56227 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66698 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88060 |
| 37 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 499 |
| 36 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 578 |
| 35 | Plasma Arching [1] | 657 |
| 34 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 717 |
| » | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 788 |
| 32 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 854 |
| 31 | 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] | 935 |
| 30 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1065 |
| 29 | 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] | 1217 |
| 28 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1272 |
| 27 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1292 |
| 26 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1307 |
| 25 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 1554 |
| 24 | 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] | 1745 |
| 23 | 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] | 1839 |
| 22 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 1893 |
| 21 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2186 |
| 20 | 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] | 2188 |
| 19 |
임피던스 매칭회로
[1]  | 2434 |
| 18 | Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] | 2941 |
최선의 설계는 전기공학적인 설계 방법이 있을 것 같습니다만, 저는 경험이 없어 즉답을 드리기 힘듧니다. 다만 제 실험에서는 물리적으로 잘 결합이 되고, 접지에 각별하게 신경을 써야 한다는 정도만 알고 있습니다. 특히 clamp로 묶는 일 들은 매우 신중하셔야 할 것 같고요. RF는 DC와 매우 다르게 다루어야 하는 점 꼭 신경쓰시기 바랍니다.